Termal Oksit Silikon Gofret

Termal Oksit Silikon Gofret

Termal Oksit Silikon Gofret, üzerinde silikon dioksit (SiO2) oluşturulmuş bir katmana sahip silikon gofretlerdir. Termal oksit (Si+SiO2) veya silikon dioksit tabakası, termal oksidasyon işlemi yoluyla bir oksidanın varlığında yüksek sıcaklıkta çıplak bir silikon levha yüzeyinde oluşturulur.
Soruşturma göndermek
Şimdi konuş
Açıklama
Teknik parametreler

Ningbo Sibranch Mikroelektronik Technology Co., Ltd .:Güvenilir 300mm Silikon Gofret Üreticiniz!

 

 

2006 yılında Çin'in Ningbo kentinde malzeme bilimi ve mühendislik bilimcisi tarafından kurulan Sibranch Microelectronics, tüm dünyada yarı iletken levha ve hizmet sağlamayı hedefliyor. Ana ürünlerimiz arasında standart silikon levhalar SSP (tek tarafı cilalı), DSP (Çift tarafı cilalı), test silikon levhaları ve birinci sınıf silikon levhalar, SOI (İzolatör Üzerinde Silikon) levha ve çapı 12 inçe kadar bozuk para rulo levhaları, CZ/MCZ/FZ/NTD, hemen hemen her yönelim, kesik, yüksek ve düşük dirençli, ultra-düz, ultra-ince, kalın levhalar vb. yer alır.

 

Lider Hizmet

Müşteri memnuniyetini aşacak şekilde yabancı müşterilere çok sayıda yüksek-kaliteli ürün sunmak için ürünlerimizi sürekli yenilemeye kararlıyız. Ayrıca müşterilerin beden, renk, görünüm vb. gereksinimlerine göre özelleştirilmiş hizmetler de sağlayabiliriz. En uygun fiyata ve yüksek-kaliteli ürünler sağlayabiliriz.

 

Kalite Garantili

Farklı müşterilerin ihtiyaçlarını karşılamak için sürekli araştırıyor ve yenilikler yapıyoruz. Aynı zamanda, her ürünün kalitesinin uluslararası standartlara uygun olmasını sağlamak için her zaman sıkı kalite kontrolüne bağlı kalıyoruz.

 

Geniş Satış Ülkeleri

Yurtdışı pazarlarda satışa odaklanıyoruz. Ürünlerimiz Avrupa, Amerika, Güneydoğu Asya, Orta Doğu ve diğer bölgelere ihraç edilmekte ve dünya çapındaki müşteriler tarafından iyi karşılanmaktadır.

 

Çeşitli Ürün Çeşitleri

Şirketimiz, müşterilerimizin özel ihtiyaçlarını karşılamak üzere özelleştirilmiş silikon levha işleme hizmetleri sunmaktadır. Bunlar arasında Si Wafer BackGrinding, Dicing, DownSizing, Edge Grinding ve MEMS yer alıyor. Beklentileri aşan ve müşteri memnuniyetini sağlayan özel çözümler sunmaya çalışıyoruz.

 

Ürün Çeşitleri

 

CZ Silikon Gofret

CZ Silikon Gofretler, elektronik endüstrisinde yarı iletken cihazların üretiminde kullanılan büyük silindirik silikon külçelerden silikon kristalleri yetiştirmek için en yaygın olarak kullanılan Czochralski CZ büyüme yöntemi kullanılarak çekilen tek kristal silikon külçelerden kesilir. Bu işlemde, hassas yönlendirme toleransına sahip uzatılmış kristalin silikon tohumu, sıcaklığı hassas bir şekilde kontrol edilen bir erimiş silikon havuzuna eklenir. Tohum kristali, sıkı bir şekilde kontrol edilen bir hızda eriyikten yavaşça yukarı doğru çekilir ve arayüzde sıvı faz atomlarının kristal katılaşması meydana gelir. Bu çekme işlemi sırasında tohum kristali ve pota zıt yönlerde dönerek tohumun mükemmel kristal yapısına sahip büyük bir tek kristal silikon oluşturur.

Silikon Oksit Gofret

Silikon oksit levha, çeşitli yüksek-teknoloji endüstrilerinde ve uygulamalarında kullanılan gelişmiş ve temel bir malzemedir. Yüksek-kaliteli silikon malzemelerin işlenmesiyle üretilen yüksek-saflıkta kristalimsi bir maddedir, bu da onu birçok farklı elektronik ve fotonik uygulama türü için ideal bir alt tabaka haline getirir.

Sahte Gofret (Coinroll)

Sahte levhalar (aynı zamanda test levhaları olarak da adlandırılır), esas olarak deney ve test için kullanılan levhalardır ve ürün için genel levhalardan farklıdır. Buna göre, geri kazanılmış levhalar çoğunlukla sahte levhalar (test levhaları) olarak uygulanır.

Altın Kaplamalı Silikon Gofret

Altın-kaplamalı silikon plakalar ve altın-kaplamalı silikon çipler, malzemelerin analitik karakterizasyonunda substrat olarak yaygın şekilde kullanılır. Örneğin, altın-kaplı levhalar üzerine biriktirilen malzemeler, altının yüksek-yansıtıcılığı ve olumlu optik özellikleri nedeniyle elipsometri, Raman spektroskopisi veya kızılötesi (IR) spektroskopisi aracılığıyla analiz edilebilir.

Silikon Epitaksiyel Gofret

Silikon Epitaksiyel Gofretler oldukça çok yönlüdür ve farklı endüstri gereksinimlerine uyacak şekilde çeşitli boyut ve kalınlıklarda üretilebilir. Ayrıca entegre devreler, mikroişlemciler, sensörler, güç elektroniği ve fotovoltaikler dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda da kullanılırlar.

Termal Oksit Kuru ve Islak

En son teknoloji kullanılarak üretilmiştir ve performansta benzersiz güvenilirlik ve tutarlılık sunmak üzere tasarlanmıştır. Termal Oksit Kuru ve Islak, endüstrinin tüm zorlu gereksinimlerini karşılayan yüksek-kaliteli levhalar üretmenin etkili bir yolunu sağladığı için dünya çapındaki yarı iletken üreticileri için önemli bir araçtır.

300mm Silikon Gofret

Bu levhanın çapı 300 milimetredir, bu da onu geleneksel levha boyutlarından daha büyük yapar. Bu daha büyük boyut, onu daha maliyet-etkin ve verimli hale getirerek kaliteden ödün vermeden daha fazla üretim çıktısına olanak tanır.

100mm Silikon Gofret

100 mm'lik silikon levha, elektronik ve yarı iletken endüstrilerinde yaygın olarak kullanılan-yüksek kaliteli bir üründür. Bu levha, yarı iletken cihazların üretiminde gerekli olan optimum performansı, hassasiyeti ve güvenilirliği sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.

200mm Silikon Gofret

200 mm'lik silikon levha, araştırma ve geliştirme uygulamalarının yanı sıra yüksek-hacimli üretim uygulamalarıyla da çok yönlü kullanıma sahiptir. İnce veya kalın plakalar, cilalı veya cilasız yüzey seçenekleri ve özel ihtiyaçlarınıza göre diğer özelliklerle, tam spesifikasyonlarınıza göre özelleştirilebilir.

 

Termal Oksit Silikon Gofret Nedir?

 

 

Termal Oksit Silikon Gofret, üzerinde silikon dioksit (SiO2) oluşturulmuş bir katmana sahip silikon gofretlerdir. Termal oksit (Si+SiO2) veya silikon dioksit tabakası, termal oksidasyon işlemi yoluyla bir oksidanın varlığında yüksek sıcaklıkta çıplak bir silikon levha yüzeyinde oluşturulur. Genellikle "Islak" veya "Kuru" büyütme yöntemi kullanılarak 900 derece ~ 1200 derece sıcaklık aralığına sahip yatay tüp fırında yetiştirilir. Termal oksit bir tür "büyümüş" oksit tabakasıdır. CVD ile biriktirilen oksit tabakasıyla karşılaştırıldığında, daha yüksek tekdüzelik ve daha yüksek dielektrik dayanıma sahip bir yalıtkan olarak mükemmel bir dielektrik tabakadır. Çoğu silikon-bazlı cihaz için termal oksit katmanı, silikon yüzeyinin katkı bariyerleri ve yüzey dielektrikleri olarak hareket etmesini pasifleştirmek için önemli bir malzemedir.

 

 
Termal Oksit Silikon Gofret Çeşitleri
 

Gofretin Her İki Yüzünde Islak Termal Oksit
Film kalınlığı: Her iki tarafta 500Å – 10μm
Film kalınlığı Toleransı: Hedef ±%5
Film gerilimi: – 320±50 MPa Basınçlı

01/

Gofretin Tek Tarafında Islak Termal Oksit
Film kalınlığı: Her iki tarafta 500Å – 10.000Å
Film kalınlığı Toleransı: Hedef ±%5
Film gerilimi: -320±50 MPa Basınçlı

02/

Gofretin Her İki Yüzünde Kuru Termal Oksit
Film kalınlığı: Her iki tarafta 100Å – 3.000Å
Film kalınlığı Toleransı: Hedef ±%5
Film gerilimi: – 320±50 MPa Basınçlı

03/

Gofretin Tek Tarafında Kuru Termal Oksit
Film kalınlığı: Her iki tarafta 100Å – 3.000Å
Film kalınlığı Toleransı: Hedef ±%5
Film gerilimi: – 320±50 MPa Basınçlı

04/

Gaz Tavlamalı Kuru Klorlu Termal Oksit
Film kalınlığı: Her iki tarafta 100Å – 3.000Å
Film kalınlığı Toleransı: Hedef ±%5
Film gerilimi: – 320±50 MPa Basınçlı
Taraf Süreci: Her İki Taraf

Termal Oksit Silikon Gofretin Üretim Süreci

 

Silikonun termal oksidasyonu, silikon levhaların, genellikle tekne olarak bilinen ve bir kuvars termal oksidasyon fırınında ısıtılan bir kuvars rafına yerleştirilmesiyle başlar. Fırındaki sıcaklık, standart basınç altında 950 ila 1.250 santigrat derece arasında olabilir. Gofretleri istenen sıcaklığın yaklaşık 19 santigrat derecesinde tutmak için bir kontrol sistemine ihtiyaç vardır.
Gerçekleştirilen oksidasyonun türüne bağlı olarak termal oksidasyon fırınına oksijen veya buhar verilir.
Bu gazlardan gelen oksijen daha sonra substratın yüzeyinden oksit tabakası yoluyla silikon tabakasına yayılır. Oksidasyon katmanının bileşimi ve derinliği zaman, sıcaklık, basınç ve gaz konsantrasyonu gibi parametrelerle hassas bir şekilde kontrol edilebilir.
Yüksek sıcaklık oksidasyon hızını arttırır, ancak aynı zamanda silikon ve oksit katmanları arasındaki bağlantının safsızlıklarını ve hareketini de arttırır.

Bu özellikler, karmaşık IC'lerde olduğu gibi, oksidasyon prosesi birden fazla adım gerektirdiğinde özellikle istenmeyen bir durumdur. Daha düşük bir sıcaklık, daha yüksek kalitede bir oksit tabakası üretir, ancak aynı zamanda büyüme süresini de arttırır.

Bu problemin tipik çözümü, büyüme süresini kısaltmak için gofretleri nispeten düşük bir sıcaklıkta ve yüksek basınçta ısıtmaktır.

Bir standart atmosferlik (atm) artış, diğer tüm faktörlerin eşit olduğu varsayılarak gerekli sıcaklığı yaklaşık 20 santigrat derece azaltır. Termal oksidasyonun endüstriyel uygulamaları, 700 ila 900 santigrat derece arasındaki sıcaklıkta 25 atm'ye kadar basınç kullanır.

Oksit büyüme hızı başlangıçta çok hızlıdır ancak oksijenin silikon alt katmana ulaşmak için daha kalın bir oksit tabakasından yayılması gerektiğinden yavaşlar. Oksit tabakasının neredeyse yüzde 46'sı, oksidasyon tamamlandıktan sonra orijinal alt tabakaya nüfuz eder ve oksit tabakasının yüzde 54'ü alt tabakanın üstünde kalır.

 

 
SSS
 

S: Silikon levhanın termal oksidi nedir?

C: Termal oksidasyon, bir silikon levhanın, bir silikon dioksit (SiO2) tabakası oluşturmak için oksitleyici maddeler ve ısıdan oluşan bir kombinasyona maruz bırakılmasının sonucudur. Bu katman en yaygın olarak hidrojen ve/veya oksijen gazıyla yapılır, ancak herhangi bir halojen gazı da kullanılabilir.

S: Termal oksidasyonun iki ana nedeni nedir?

C: Bu oksidasyon fırını daha sonra oksijene (kuru termal oksidasyon) veya su moleküllerine (ıslak termal oksidasyon) tabi tutulur. Oksijen veya su molekülleri silikon yüzeyiyle reaksiyona girerek yavaş yavaş ince bir oksit tabakası oluşturur.

S: Silikon levha, oksijen veya buharla birlikte yüksek sıcaklıktaki bir fırına yerleştirildiğinde ne olur?

C: Bunun tersine, termal oksidasyon, silikon levhanın yüksek sıcaklıkta oksijen veya buharla reaksiyona sokulmasıyla elde edilir. Termal olarak büyütülen oksitler genellikle çökeltilen oksitlerle karşılaştırıldığında üstün dielektrik özellikler gösterir. Bu oksitlerin yapısı amorftur; ancak silikon yüzeye güçlü bir şekilde bağlanırlar.

S: Islak ve kuru termal oksit arasındaki fark nedir?

C: ISLAK ve KURU Termal Oksit'in kırılma indeksi ölçülebilir derecede farklı değildir. KURU için kaçak akım daha azdır ve dielektrik mukavemeti ISLAK Termal Oksit'e göre daha yüksektir. 100nm'nin altındaki çok düşük kalınlıklarda, ISLAK Termal Oksit'e göre daha yavaş büyüdüğü için KURU Oksit kalınlığı daha hassas bir şekilde kontrol edilebilir.

S: Silikon levha üzerindeki oksit tabakasının kalınlığı nedir?

C: "Oksit" olarak anılır, aynı zamanda kuvars ve silika olarak da adlandırılır. (yaklaşık 1,5 nm veya 15 Å [angstrom]), silikon levha ortam koşulları altında havaya maruz kaldığında yüzeyinde oluşan.

S: SiO2'yi geçit oksidi olarak büyütmek için neden termal oksidasyon tercih edilir?

C: Silikon dioksitin büyütülmesi, kuru veya ıslak bir ortamda termal oksidasyon kullanılarak gerçekleştirilir. Kapı oksitleri gibi en yüksek kalitedeki oksitler için kuru oksidasyon tercih edilir. Avantajları, yavaş oksidasyon hızı, ince oksitlerdeki oksit kalınlığının iyi kontrolü ve yüksek kırılma alanı değerleridir.

S: Oksit tabakasını silikondan nasıl çıkarırsınız?

C: Silikon dioksit katmanları, çeşitli yöntemler kullanılarak silikon substratlardan çıkarılabilir. Bir yöntem, silikon oksit tabakasının çoğunu çıkarmak için levhanın bir aşındırma çözeltisine batırılmasını, ardından kalan silikon oksit tabakasının çıkarılması için levhanın yüzeyinin ikinci bir aşındırma çözeltisiyle yıkanmasını içerir.

S: Üretimimiz için başlangıç ​​katmanı olarak silikon levha üzerinde termal olarak büyütülmüş oksit katmanını kullanmanın amacı nedir?

C: Silikon üzerinde termal oksit biriktirme işlemi, MEMS cihazları için yaygın bir imalat yöntemidir. İşlem, silikon levhaların yüzeyini iyileştirerek istenmeyen parçacıkları giderir ve yüksek elektriksel dayanıma ve saflığa sahip ince filmler elde edilmesini sağlar.

S: Silikon levhanın termal oksidi nedir?

C: Termal oksidasyon, bir silikon levhanın, bir silikon dioksit (SiO2) tabakası oluşturmak için oksitleyici maddeler ve ısıdan oluşan bir kombinasyona maruz bırakılmasının sonucudur. Bu katman en yaygın olarak hidrojen ve/veya oksijen gazıyla yapılır, ancak herhangi bir halojen gazı da kullanılabilir.

S: Silikon oksidin termal büyümesi nedir?

C: Silikon tüketildikçe silikon dioksit büyümesi, silikonun orijinal yüzeyinin %54 üstünde ve %46 altında gerçekleşir. Islak oksidasyon hızı kuru oksidasyon işleminden daha hızlıdır. Bu nedenle kuru oksidasyon işlemi, silikon yüzeyini pasifleştirmek için ince oksit tabakası oluşumuna uygundur.

S: Silikon levhanın kuru oksidasyonu nedir?

C: Silikonu oksitlemek için genellikle yüksek-saflıkta oksijen gazı kullanılır. Oksidasyon sistemindeki nitrojen gazı, sistemin boşta kalması, sıcaklığın artması, levha yükleme adımları ve haznenin temizlenmesi sırasında proses gazı olarak kullanılır, çünkü nitrojen, proses sıcaklığında silikonla reaksiyona girmez.

S: SiO2'yi geçit oksidi olarak büyütmek için neden termal oksidasyon tercih edilir?

C: Silikon dioksitin büyütülmesi, kuru veya ıslak bir ortamda termal oksidasyon kullanılarak gerçekleştirilir. Kapı oksitleri gibi en yüksek kalitedeki oksitler için kuru oksidasyon tercih edilir. Avantajları, yavaş oksidasyon hızı, ince oksitlerdeki oksit kalınlığının iyi kontrolü ve yüksek kırılma alanı değerleridir.

S: Termal oksidasyon nasıl çalışır?

C: Termal oksitleyici, VOC'leri veya HAP'leri oksitlenene kadar kesin bir sıcaklığa ısıtır. Oksidasyon süreci zararlı kirletici maddeleri karbondioksit ve suya ayırır. Termal oksitleyiciler, partiküllerin bulunabileceği ve VOC konsantrasyonunun daha yüksek olduğu uygulamalar için idealdir.

S: Oksidasyon için ne tür silikon substrat kullanılıyor?

A: Tek kristal<100>hafif yanlış kesilmiş silikon veya silikon (<100>±0,5 derece) en iyi sonuçları sağlar. Orta düzeyde katkılama seviyeleri (1-100 Ωcm direnç) tercih edilir. 300 mm'ye kadar daha büyük çaplar termal oksidasyon için yaygındır.

S: Yüzey durumu neden bu kadar önemli?

C: Organik-serbest bir yüzey ve minimum pürüzlülük, tekdüze oksidasyona olanak tanır ve oksit tabakasındaki kusurları en aza indirir. Temizleme prosedürleri, organik kirlenmeyi ve parçacıkları en alt seviyeye kadar gidermeyi amaçlamaktadır.<100/cm2 level.

S: Oksidasyon oranındaki değişime ne sebep olur?

C: Birincil faktörler sıcaklık ve oksitleyici ortamdır. Bununla birlikte, doping konsantrasyonu, kusur yoğunluğu, kristal oryantasyonu, yüzey pürüzlülüğü gibi parametreler, oksidasyon kinetiğini belirleyen difüzyon hızlarını da etkiler.

S: Tekdüze olmayan-silikondan hangi sorunlar ortaya çıkabilir?

C: Kalınlık veya bileşimdeki mekansal farklılıklar cihazın performansını ve verimini düşürür. Tekdüzelik hedefleri genellikle<±1% variation across a wafer.

S: Silikon substrat ne kadar saf olmalıdır?

C: Minimum metalik veya kristalografik kirlenme ile yüksek saflık, kapı dielektrik kalitesi için esastır. Gelişmiş düğümler için silikon, 11 dokuzun (%99,999999999) ötesindeki saflık seviyelerini kullanabilir.

S: Silikon oksit, cihazlardaki silikon yüzeylerin yerini alabilir mi?

C: Hayır. Silikon oksit izolasyon ve dielektrik işlevi görür, ancak transistörler gibi cihazların işlevsellik için altta silikon gibi bir yarı iletken alt katmana ihtiyacı vardır. Yalnızca silikonun kendisi verimli anahtarlama davranışını mümkün kılar.

S: Oksidasyon sırasında ne kadar silikon tüketilir?

C: Başlangıçtaki oksit kalınlığının yaklaşık %44'ü silikon levhanın kendisinin tüketiminden kaynaklanmaktadır. Denge oksijen kaynağından kaynaklanır. Bu oran nihai oksit saflığını belirler.
Neden Bizi Seçmelisiniz?

 

Ürünlerimiz yalnızca dünyanın en büyük beş üreticisinden ve önde gelen yerli fabrikalardan tedarik edilmektedir. Yüksek vasıflı yerli ve uluslararası teknik ekipler ve sıkı kalite kontrol önlemleriyle desteklenmektedir.

Amacımız müşterilerimize kapsamlı bire bir destek sunarak profesyonel, zamanında ve verimli iletişim kanallarının sorunsuz olmasını sağlamaktır. Düşük bir minimum sipariş miktarı sunuyoruz ve 24 saat içinde hızlı teslimatı garanti ediyoruz.

 

Fabrika Gösterisi

 

Geniş envanterimiz, müşterilerin tek parça kadar küçük siparişler verebilmelerini sağlayan 1000+ üründen oluşmaktadır. Küpleme ve geri taşlama için kendimize ait ekipmanlarımız ve küresel endüstriyel zincirdeki tam işbirliği, müşterinin tek elden memnuniyeti ve rahatlığı sağlamak için hızlı sevkiyat yapmamızı sağlar.

01
02
03

 

Sertifikamız

 

Şirketimiz, patent sertifikamız, ISO9001 sertifikamız ve Ulusal Yüksek Teknoloji Kuruluşu sertifikamız da dahil olmak üzere kazandığımız çeşitli sertifikalardan gurur duymaktadır. Bu sertifikalar yenilikçiliğe, kalite yönetimine ve mükemmelliğe olan bağlılığımızı temsil eder.

01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
11
12
13
14

 

Popüler Etiketler: termal oksit silikon gofret, Çin termal oksit silikon gofret üreticileri, tedarikçiler, fabrika