TTV, BOW, WARP ve TIR, yarı iletken endüstrisinde bir levhanın yüzey geometrisinin farklı yönlerini tanımlamak için kullanılan terimlerdir. Bu terimler, yüksek kaliteli ve hassas üretim süreçlerini sağlamak için yarı iletken çiplerin üretimi sırasında yaygın olarak kullanılır.
TTV, toplam kalınlık değişimi anlamına gelir ve bir levhanın yüzeyi boyunca kalınlığındaki değişimi ifade eder. TTV'nin son yarı iletken çipin performansını ve verimini etkilemesi nedeniyle üretim süreci sırasında ölçülmesi önemlidir. Üreticiler, TTV'yi ölçerek ve kontrol ederek, levhanın eşit kalınlıkta olmasını sağlayabilir ve üretim sürecindeki hataları en aza indirebilir.
YAY veya eğilme, gofret yüzeyinin çapı boyunca şeklini ifade eder. Tamamen düz bir yüzeydeki eğrilik veya sapma miktarıdır. Yüksek BOW değerine sahip gofretlerin işlenmesi daha zor olabilir çünkü bunlar, desen oluşturma işlemi sırasında hizalama ve odaklanmada sorunlar yaratabilir. Üreticilerin BOW'u doğru bir şekilde kontrol etmesi gerekiyor, böylece levhalardan üretilen yarı iletken cihazlar istenen performans özelliklerini karşılıyor.
WARP, levhanın yüzeyinin herhangi bir alandaki mükemmel düzlemselliğinden sapmasını tanımlar. Bu, termal gerilimler veya mekanik kuvvetler gibi çeşitli gerilimler nedeniyle levha yüzeyinin bozulması anlamına gelir. WARP, yarı iletken cihazların üretimi sırasında levhalar arasında yanlış hizalamaya neden olarak daha düşük verimlere yol açabilir. Bu nedenle, WARP'ın izlenmesi ve kontrol edilmesi, yüksek kaliteli yarı iletken cihazlar elde etmek için gereklidir.
TIR veya toplam belirtilen salgı, levhanın dönme eksenine göre düzlüğündeki değişimi ifade eder. Bu önlem, özellikle desen verme işlemi sırasında, gofret işleme sırasında doğru hizalama ve odaklamayı sağlamak için çok önemlidir. Yüksek TIR'a sahip yarı iletkenler, nihai cihazın verimini ve performansını olumsuz yönde etkileyebilir.
TTW, BOW, WARP ve TIR, yüksek kaliteli yarı iletken cihazlar sağlamak için kullanılan kritik önlemlerdir. Üstün performans ve verime sahip hassas yarı iletken cihazlar elde etmek için levha üretim süreci sırasında bu önlemlerin uygun şekilde izlenmesi ve kontrol edilmesi zorunludur.
