Birçok çip türü vardır ve hepsi substrat olarak monokristalin silikon plakalar kullanmaz. Farklı çip ürünleri için özelliklerine göre farklı substrat türleri kullanılır. Çoğu kişi diğer substratlar hakkında çok az şey bilir, bu yüzden bu fırsatı değerlendirip onları kısaca tanıtalım.
Alt Tabaka Türlerinin Özeti
1.Monokristalin Silikon Waferlar:
Entegre devreler (IC), mikroişlemciler, bellek aygıtları, MEMS aygıtları, güç aygıtları vb. üretiminde yaygın olarak kullanılan en yaygın alt tabaka malzemesidir.
2.SOI Alt Tabakalar (Yalıtkan Üzerindeki Silikon):
Yüksek frekanslı analog ve dijital devreler, RF aygıtları ve güç yönetim çipleri gibi yüksek performanslı, düşük güç tüketimli entegre devrelerde kullanılır.
3.SiGe Substratlar (Silikon-Germanyum):
Bileşimi: Herhangi bir mol oranında silisyum ve germanyum alaşımı, moleküler formülü Si₁₋ₓGeₓ olup genellikle epitaksi ile yapılır.
Uygulamalar: Heterojunction bipolar transistörlerde, karışık sinyal devrelerinde, RF'de vb. kullanılır.
4.Bileşik Yarıiletken Alt Tabakalar:
● GaAs Substratları (Galyum Arsenik):Mikrodalga ve milimetre dalga iletişim cihazları vb.
● GaN Substratlar (Galyum Nitrür): RF güç amplifikatörlerinde, HEMT'lerde (Yüksek Elektron Hareketlilikli Transistör) vb. kullanılır.
● SiC Alt Tabakalar (Silisyum Karbür): Elektrikli taşıtların güç cihazlarında, güç dönüştürücülerinde vb. kullanılır.
● InP Substratlar (İndiyum Fosfür): Lazerlerde, fotodedektörlerde vb. kullanılır.
5.Safir Alt Tabakalar:
LED imalatında, RFIC (Radyo Frekanslı Entegre Devre) vb. kullanılır.
6.Germanyum Substratları:
Kızılötesi optoelektronik cihazlarda vb. kullanılır.
7.LN (Lityum Niobat):
SAW (Yüzey Akustik Dalga) filtrelerinde, MEMS vb. kullanılır.
8.LT (Lityum Tantalat):
SAW filtrelerinde, MEMS'lerde vb. kullanılır.
9.Cam Alt Tabakalar:
LCD, OLED, optik filtreler vb. alanlarda kullanılır.
Ve dahası...
