Gofret çentiği nedir?
Çentik, silikon levhanın hemen altında kesilmiş, genellikle V veya U şeklinde küçük bir oyuktur. Çentiğin iki işlevi vardır. Bunlardan biri, silikon levhanın kristal yönelimini işaretlemektir;<100>, <110>, <111>, vb. Diğer işlev, silikon levhanın yarı iletken üretim ekipmanında doğru şekilde konumlandırılmasını ve hizalanmasını sağlamaktır. Genellikle çentikler 8-inç ve 12-inç levhalarda bulunur.
Notch neye benziyor?
Çentiğin boyutu, yukarıdaki şekilde gösterildiği gibi, SEMI standartlarına kesinlikle uygun olmalıdır:
1. Vw çentiğin toplam genişliğini temsil eder ve boyutu silikon tabakanın çapı ve kalınlığı ile ilgilidir.
2. Vh çentiğin derinliğidir ve silikon levhanın kenarından oluğun tabanına kadar olan dikey mesafeyi gösterir. Genellikle 1.0 ile 1.25 mm arasında değişir. Vh, çentiğin hizalama doğruluğunu sağlamak için çok önemlidir.
3. AngV, yani Çentik Açısı. AngV, her iki taraftaki oluğun kenarları arasındaki açı olan çentiğin açısıdır. Genellikle 89 derece ile 95 derece arasındadır. Bu açı çentiğin geometrisinde ve konumlandırılmasında belirleyici bir rol oynar.
4. R1 ve R2, çentiğin her iki tarafındaki köşelerin yarıçaplarını temsil eder. Bu iki yarıçap, oluk köşelerinin düzgünlüğünü belirler, çentiğin gerilim konsantrasyonunu etkiler ve silikon levhanın mekanik özelliklerini etkiler.
5. Vr, çentiğin alt kısmındaki eğrilik yarıçapıdır ve oluğun alt kısmındaki yayın boyutunu gösterir. VR, çentiğin eğri şeklini ve düzgünlüğünü değiştirebilir. Daha büyük bir Vr, çentiğin tabanını daha düz hale getirebilir ve bu da stres konsantrasyonunu azaltmaya yardımcı olur.
6. Çentik Yönü: Oluğun yönü, levhanın spesifik kristal yönüne paraleldir ve ±2 derecelik bir sapmaya izin verilir.